AIPC

 

AIPC

Adaptive Intelligent Process Control (AIPC)

 

 

Projektziel:

Ziel der Kooperation ist es, dem bestehenden Problem der Halbleiterfertigung zur intelligenten Steuerung komplexer Prozessschritte wie SOG-Coating, Plasma Etching und CMP entgegenzuwirken. Es ist auch möglich, Methoden der KI zum Lernen, Argumentation und Problemlösung unter Berücksichtigung der menschlichen Intervention anzuwenden. Dadurch wird die klassische Kluft zwischen Prozess und Entwicklung überbrückt, die in konventionellen Ansätzen das Entstehen neuer Ideen einschränkt oder blockiert und die Produktionsexzellenz aufrechterhält. Die Art der intelligenten Prozesssteuerung bietet die Möglichkeit, das Fachwissen des Prozessingenieurs auf hybride Weise in den Steuerungsalgorithmus einzubeziehen (d.h. Eine Kombination aus Heuristiken und mathematischen Methoden).

AIPC Framework:

Adaptive Intelligent Process Control (AIPC) ist eine Software um die Modellierung und Steuerung von SOG-Etching zu kontrollieren. Die Software verwendet die Prinzipien herkömmlicher und intelligenter Controller, um den komplexen Prozess des Etchings zu bewältigen. Die Software ist erweiterbar und anpassungsfähig für die Steuerung anderer Prozesse in der Zukunft. Daher ist AIPC als komponentenbasierte Software konzipiert. Der Equipment Manager (EM) und der Controller Manager (COM) organisieren Einheiten des AIPC-Frameworks. Der EM sammelt die Ausrüstungen und ihre Attribute (Kammern, Variablen usw.) aus dem AIPC-Paket, dass die Schnittstelle zur ELMOS-Datenbank bildet. Auf diese Weise sind die Eigenschaften der Front-End-Geräte auch erweiterbar für eine zukünftige Schnittstelle, um neue Merkmale verfügbarer Geräte hinzuzufügen oder neue Geräte in das AIPC-Framework zu integrieren.
Die COM ist ein separater Manager zum Aktivieren und Initiieren des Analyseprozesses, der verfügbar ist und aus dem Frontend-Personal (Endbenutzer) ausgewählt wird. Die Information über die mögliche Analysemethode ruft die COM aus dem Virtual Controller Storage (VCS) ab, einer Struktur von Verwaltungstabellen. Diese Struktur ist ebenfalls erweiterbar und für jede der Einrichtungen üblich. Diese Art von Architektur bewahrt den Punkt der Adaptivität des AIPC-Frameworks.

Die aktuell entwickelte Software besteht aus zwei Controllern zur Modellierung und Steuerung des SOG-Etchings:

• Proportional–Integral–Derivative (PID) Regler
• Intelligent Controller (Künstlicher Neuronaler Netzwerk-basierter Controller)

 

Projektpartner: ELMOS Central IT Services GmbH