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Katalog der UB Siegen

Jeol JSM-IT300 (REM)

 

Spezifikationen: Auflösung 3 nm @ 30 kV, 15 nm @ 1 kV, Beschleunigungsspannung 0.3 kV bis 30 kV, Probenstrom       1 pA bis 1 µA, Verfahrwege X – 125 mm, Y – 100 mm, Z – 80 mm (Motorisiert)